台積電攜供應商打造綠色氫氟酸 拚年減碳逾2萬公噸

台積電（圖）攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，成功產製氫氟酸，截至2023年2月已導入晶圓12A廠 及晶圓15A廠，其他12吋廠將同步試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸。資料照。（圖／GettyImages）

【新唐人亞太台 2023 年 02 月 24 日訊】台積電攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，成功產製氫氟酸，截至今年2月已導入晶圓12A廠及晶圓15A廠，其他12吋廠將同步試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸。

台積電在新出爐的ESG電子報中表示，氫氟酸是半導體濕式蝕刻製程的重要化學品，一般以螢石為原料，因取得不易且精煉程序繁複，產製過程較難降低碳排放量。

為促進環境永續發展，台積電2021年起與供應商合作投入氫氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥產製過程衍生的廢料氟矽酸搭配硫酸進行化學反應後產製氫氟酸。

台積電指出，為使品質符合半導體製程標準，除輔導供應商提前於進料階段即提供品質保證證明（CoA）外，同時協助其開發獨立產線進行測試，經反覆調整以達製程最適化，確保後續生產品質無虞。

台積電表示，截至今年2月已導入晶圓12A廠及晶圓15A廠，減少螢石用量，減碳317公噸，其他12吋晶圓廠區同步進行試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸，相當於58座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量。

隨著產能擴張，2022年每日進出台積電營運廠區的承攬商人數逾5.1萬人，為強化作業安全管理，台積電除推出數位職安訓練課程，並連動承攬商門禁權限及施工申請。

台積電針對承攬商高風險作業、高風險區域分別開發人工智慧（AI）危害辨識技術，主動偵測不安全作業行為與環境並發出警報，由工安人員立即要求改善、降低職災風險。

台積電指出，截至今年2月，已完成天花板作業、槽車灌充區2種類型的AI辨識模組，並導入晶圓15A廠，攜手承攬商共創安全友善職場。

為響應教育部鼓勵學生透過多元選修及彈性學習時間探索興趣，台積電從推廣科普教育的角度出發，於台北市立建國高級中學、中山女子高級中學、台中市立台中第一高級中等學校推出6週共18小時的微課程「SEMI神秘積星站」。

台積電表示，課程以混成學習模式帶領學子認識半導體對生活與科技發展的重要性，激發其科學智能及創意思維、提升學習動機，2022年1月已完成3校第一學期授課，總計88位學生參與。

為使不同年齡層的學子探索半導體世界，台積電亦建置「半導體雲端學院」提供線上學習資源，具備EDU電子郵件信箱者即可註冊成為學員，免費觀看6堂互動式動畫課程，精進半導體產業知識。

台積電指出，營運透明，注重股東權益，健全及有效率的董事會是優良公司治理的基礎；董事會先後於2002及2003年主動設立審計委員會與薪酬委員會。

為持續追求更完善的公司治理，台積電董事會進一步於今年2月核准新增並強化委員會職責，包括變更「審計委員會」名稱為「審計暨風險委員會」、變更「薪酬委員會」名稱為「薪酬暨人才發展委員會」，以及設立「提名及公司治理暨永續委員會」。各委員會將協助董事會履行其職責，並定期向董事會報告其活動和決議。

（新聞來源：中央社）