台積電已在用！國科會發表台灣首台原子探針

【新唐人亞太台 2023 年 04 月 20 日訊】國科會19日在國研院半導體中心，曝光了「原子針尖斷層影像儀（APT）」，堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析，這是除了台積電等業界外，第一台由國內學術界對外公開的設備。國科會希望藉此建立領域專家系統與研究服務平台，加速高階技術人才培育與半導體物理突破。

來到位於新竹的國研院半導體中心，看到台灣學術界第一台「原子針尖斷層影像儀（APT）」，雖然體積不大，卻堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析設備，可提供高解析度、3D材料分析，突破半導體解析侷限。

台灣大學材料科學與工程學系教授 顏鴻威：「在材料或者是半導體的研究中，可能少數原子的移動、或者是擴散、或者說這些原子分布的位置不對，就會造成元件或材料性能的喪失或衰減。 那「APT〈原子針尖斷層影像儀〉，其實它所呈現的數據，相當於我們人類在做斷層掃描，或者是更白話一點，它很像原子的GPS，所以我們可以在材料內部定義或定位，每個原子的位置跟種類，就像我們GPS在追蹤一樣。」

在國科會的經費支持下，國研院半導體中心與臺灣大學、清華大學及陽明交通大學合作研發，共同建立「原子針尖斷層影像儀（APT）」研究服務平台。可為半導體業界提供先進製程材料分析，也有助於材料科學人才的培育。

國科會自然科學及永續研究發展處處長 羅夢凡：「首要的服務目標，事實上是學界，再來是台灣的這個產業界，當然重點除了解決問題以外，我們也希望能夠培養人才，再慢慢把這樣的技術能力，擴散到台灣的這個產業界。」

台大材料系教授顏鴻威表示，「原子針尖斷層影像儀（APT）」目前台積電內部也有使用。除了對半導體產業有幫助，也可擴展到多種前瞻應用材料，包含金屬鋼鐵、光電、能源等方向。

新唐人亞太電視 林秋霞 台灣新竹採訪報導