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關鍵字:微影技術
前研發大將林本堅:台積電採浸潤式微影超車英特爾
2021-12-27 16:30:48
清大半導體研究學院今天揭牌,台積電前研發副總經理林本堅擔任院長,他透露,英特爾2002年曾組EUV聯盟,台積電無法參加,改採浸潤式微影技術,反而超越英特爾。
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