艾司摩爾統計，去年第4季High-NA EUV系統在手訂單已有五台，業界推估每台報價約3億美元，來自英特爾、三星、台積電這三大主要客戶。而英特爾最新款High-NA EUV訂單，業界估計該設備報價超過3.4億美元，比前一代價格增超過13%，是史上最貴EUV機台。
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