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中山大超臨界流體技術 助半導體突破良率瓶頸
2022-05-05 12:22:20
中山大學物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」，有望助半導體突破良率瓶頸，師生團隊成立公司推廣，成日本最大半導體設備商東京威力在台唯一投資的新創公司。
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